光学面プロファイラー

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光学面プロファイラー ZeGage™ Pro 新製品 NewView™ 9000 Nexview™ NX2 Nomad™ Compass™ APM650™ Mx™ ソフトウェア プロファイラーの対物レンズ

光学プロファイラーの基本 表面プロファイリング 表面プロファイリング


ZeGage™ Pro 生産現場対応3D光学プロファイラー

ZeGage Pro 光学プロファイラーシステム
主要機能:

• 耐振機能による生産現場での測定とプロセス管理を実現

• ISO25178準拠の測定値は確信ある測定を保証

• 非接触での面測定技術により、サンプルへの損傷なく、配置や向きを気にすることなく測定

• 消耗品は一切不要

ZeGage™ ProZeGage™ Pro HR 3D光学プロファイラーはあらゆる表面のマイクロ、ナノスケールの特徴を非接触で測定します。パフォーマンス、使いやすさ、フレキシビリティの全てをもつ産業向け卓上タイプ非接触表面プロファイラーの新基準です。

ZeGage™ Proはナノメーターレベルの表面マッピングを可能とし、多くの産業用途部品で要求される表面測定ニーズを網羅しています。より精密な表面仕上げをしたスムーズなサンプルには、更に20倍高精度な0.15nm の垂直分解能をを持つZeGage™ Pro HRが最適です。

高速形状測定では ZeGage Pro は Zegage よりも最高 2 倍の速さで、データ取得までの時間が迅速で、製造継続のスループットを改善します。

Mx ソフトウェア - Nexview プロファイラーの分析と制御
Mx™ ソフトウェアスクリーン(画像クリックして拡大)
約10年の歴史をもつZYGOのZeGage™製品により、光干渉による表面測定を測定室から生産現場に移す事が可能となりました。ZeGage Pro、Pro HRシステムは耐振性を大幅に向上させた強力なSureScan™テクノロジーに加え、ZYGO独自の新機能Part FinderやSmart Setupの搭載により、サンプル交換時のセットアップ時間を大幅に短縮し、より簡単に測定ができるようになりました。

従来モデルのZeGage™同様、ZeGage™ Pro、 Pro HRシステムは使いやすいコンパクトな卓上型のプロファイラーです。SureScan™テクノロジーの搭載により、高価な防振台やエンクロージャ、消耗品が不要です。また、簡単操作で表面の詳細なビジュアル化を可能とするZYGOのMx™ソフトウェアにより、プロセス管理に貢献します。

優れた性能

  • 独自の非接触測定技術はSureScan™テクノロジーの搭載により更に強化され、振動に強く、どこでも簡単に設置する事ができます。
  • ナノメートルオーダ精度の表面測定の定量化は優れたゲージ能力を提供します。
  • 1.9Mピクセルの高解像度イメージセンサーは、僅か数秒で面測定を実施し、表面の詳細な視覚化を可能とします。
  • 全自動測定シーケンスおよびスティッチング機能により、広領域での高解像度検査を可能にします。(電動サンプルステージオプションが必要)

汎用性

  • 様々な材料の測定に対応し、表面テクスチャ、形状、段差等の2Dや3Dを含む多くのパラメータを提供します。
  • Mxソフトウェアは、表面のビジュアル化、解析、レポーティング等の総合的な機能を提供します。
  • 対物レンズ用ターレットや手動/電動サンプルステージを含むアクセサリー、フィルムトポグラフィー測定やCognex VisionPro®を用いた2D解析などのオプションソフトウェアを用いる事で測定レンジを拡張する事が可能です。

生産性および価値

  • Smart Setupテクノロジーは光量調整、測定を含めた自動焦点合わせを行い、オペレータへのトレーニング時間短縮に加え、サンプル交換時のセットアップ時間を大幅に低減します。Smart Setupにより、対物レンズ下にサンプルを置いてから通常1分以内に表面マップを出力することができます。
  • 接触式スタイラスプロファイラー等の他技術や製品に対し、より優れた投資効果をもたらします。
  • 非接触式の為、消耗品の交換費用を懸念する必要がありません。
  • コンパクトで振動に強いSureScan™テクノロジーにより、施設内のどこでも簡単に設置する事が可能です。
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