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光学プロファイラーの基本 表面プロファイリング 表面プロファイリング
Nexview™ NX2 3次元光学表面プロファイラー
最も要求の厳しいアプリケーション向けに設計されたNexview™ NX2 三次元光学表面プロファイラは、優れた精度、高度なアルゴリズム、アプリケーションの柔軟性、および自動化技術の全てを1つのパッケージに収めたZYGOの最新Coherence Scanning Interferometric（CSI）製品です。
完全非接触の技術は、あらゆる倍率でサブナノメートルの精度を提供し、市販されている他の同等技術よりも迅速かつ正確に広範囲の表面を測定することにより、最大限の投資効果をもたらします。平面度、粗さ、うねり、薄膜、段差などの様々なアプリケーションを、あらゆる表面や材料で実現することができるNexview NX2は、妥協のないプロファイラです。
ユーザーの計測をより良く、より速く、より信頼性のあるものにするためにZYGOの最新フラグシップモデルのNexview NX2が提供する差別化された機能
• 高感度の大面積1.9メガピクセルセンサにより、1回の測定でより多くを見る事が可能。
• わずか数秒の高速測定は生産性とプロセス管理の向上に貢献。
• 自動化されたワークのフォーカスとセットアップにより、オペレータ依存性を最小限に抑え、データ取得完了への時間を短縮。
• 要求の厳しい生産アプリケーションに対して、優れた精度と再現性でゲージ能力を実現。
• SureScan技術と内蔵アイソレーションによる耐振性を向上させた計測により、振動の多い環境でも高品質な計測が可能。
• SmartPSI™ technology が実現する超平滑面の超高速プロファイリング。
• 2次元および3次元コリレーション は、計測結果に対する確信を提供（ISO 25178およびISO 4287規格準拠）。
• Mx™ software 計測器制御、解析、自動化計測を可能にするMx™ ソフトウェア
• Trueカラー表示による視覚化の向上
• 3つの内蔵ズームレンズによる可変画像ズーム により、視野を最適化し、装置の柔軟性を最大限に高めることが可能。
あなたが必要とする唯一のプロファイラ
測定する表面の種類に応じてプロファイラーを選択する必要はもうありません。 Nexview™ NX2プロファイラーは、超研磨された光学部品のサブオングストロームレベルの表面粗さから、85度の傾斜を持つような機械加工部品まで、実質的にあらゆる表面の形状を測定します。すべてを3次元かつ非接触で行い、他のプロファイリング技術（スタイラス、共焦点、フォーカススキャン）と比較しても、最高のデータ品質を提供します。
高度な解析および制御ソフトウェア
NewView NX2プロファイラーはZYGOのMx™ソフトウェアを使用。充実したインタラクティブな3Dマップ、定量化されたトポグラフィ情報、直感的な測定ナビゲーション、統計機能付きSPC、制御チャート、合否判定基準の設定機能等を提供します。• インタラクティブな3Dプロット - リアルタイムで結果を拡大、シフト、回転。
• フレキシブルな解析 - さまざまな定量結果、データビュー、フィルタリング。
• 直感的なユーザーインターフェイスとワークフローベース構想により、使用方法を簡単に学習。
• SPC解析ツールにより、結果のトラッキング、合否基準を監視し、プロセス統計のトラキングを実施。
透明フィルムが存在する測定や2Dビジョン解析などの特殊ニーズに対しては、追加アプリケーションモジュールを準備。
オートメーション
Nexview NX2プロファイラはプログラムされたシーケンスで完全自動化することができ、複数の部品セグメント、レシピベースのトレイ内部品測定、または大面積ワークのスティッチング測定を1回の測定で取得する事が出来ます。クリーンで合理化された設計
Nexview NX2プロファイラーは、測定設定と切り替えを簡単かつ迅速に行うために、開放的なワークエリアを備えています。標準装備の200 mm自動ステージは、クリーンで効率的な工業デザインを採用してます。パラセントリック補正された±4度の高負荷チルトステージにより、表面特徴が殆どないサンプルであっても、アライメントを容易にします。
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