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光学プロファイラーの基本 表面プロファイリング 表面プロファイリング


NewView™ 90003次元光学表面プロファイラー

NewView™ 9000 System
Key Features:

• 高感度1.9メガピクセルセンサ

• 高速非接触計測

• 優れた3次元表面の可視化

• サブオングストロームの精度

• 高精度なゲージ能力

• 強化された光学イメージング

• 自動化されたパーツセットアップ

NewView™9000 三次元光学表面プロファイラーは、非接触の光学表面プロファイリングに強力な汎用性を提供します。このシステムでは、滑面、粗面、平面、傾斜面、および段差を含む広範囲の表面を、簡単かつ迅速に測定できます。すべての測定は非破壊で高速であり、測定のためのサンプル下準備の必要はありません。

このシステムの中核にあるのは、すべての倍率でサブナノメートルの精度を提供するZYGOのCoherence Scanning Interferometry(CSI)技術であり、市販化されている他の同等技術よりも、高速かつ高精度に幅広い表面の計測を実現します。これにより投資効果を最大限に引出すことができます。

性能、価値、多様性

フレキシビリティはNewView製品の大きな特徴です。 NewView 9000プロファイラーは、平坦度、粗さおよびうねり、薄膜、段差などの様々なアプリケーションで優れた価値を提供します。

すべてのNewView 9000プロファイラーにはトリプルズームタレットが装備されており、本システム用に独自設計されたズームレンズを搭載する事が出来ます。ワーク用ステージは、マニュアルタイプからエンコード付き完全自動タイプまでの構成ラインアップを設けております。

全てのNewView 9000システムは、構成に関わらず、高精度測定/使いやすさ/高速測定の全てを魅力的な価格帯で提供する、汎用性とコストパフォーマンスに優れた3D光学プロファイラーです。

ユーザーの計測をより良く、より速く、より信頼性のあるものにするためにZYGOが提供する差別化された機能

高感度の大面積1.9メガピクセルセンサにより、1回の測定でより多くを見る事が可能。

わずか数秒の高速測定は生産性とプロセス管理の向上に貢献。

自動化されたワークのフォーカスとセットアップにより、オペレータ依存性を最小限に抑え、データ取得完了への時間を短縮。

• 要求の厳しい生産アプリケーションに対して、優れた精度と再現性でゲージ能力を実現。

• SureScan技術と内蔵アイソレーションによる耐振性を向上させた計測により、振動の多い環境でも高品質な計測が可能。

SmartPSI™ technology が実現する超平滑面の超高速プロファイリング。

2次元および3次元コリレーションは、計測結果に対する確信を提供(ISO 25178およびISO 4287規格準拠)。

• 計測器制御、解析、自動化計測を可能にするMx™ ソフトウェア

高度な解析および制御ソフトウェア

Mx software - analysis and control for the Nexview profiler
Mxソフトウェアのスクリーン

NewView 9000 Optical Profiling System

NewView 9000 光学プロファイリングシステム
NewView 9000プロファイラーはZYGOのMx™ソフトウェアを使用。充実したインタラクティブな3Dマップ、定量化されたトポグラフィ情報、直感的な測定ナビゲーション、統計機能付きSPC、制御チャート、合否判定基準の設定機能等を提供します。

インタラクティブな3次元プロット - リアルタイムで結果を拡大、シフト、回転。

フレキシブルな解析 - さまざまな定量結果、データビュー、フィルタリング。

直感的なユーザーインターフェイス とワークフローベース構想により、使い方を簡単に習得。

SPC解析ツール により、結果のトラッキング、合否基準を監視し、プロセス統計のトラキングを実施。

透明フィルムが存在する測定や2Dビジョン解析などの特殊ニーズに対しては、追加アプリケーションモジュールを準備。

フレキシブルな構成

NewView 9000 Stage and Objectives
開放的なワークエリア
NewView 9000 プロファイラーの広いワークエリアには、測定セットアップや測定物交換が簡単に素早く行えます。システムは、完全手動の X/Y /傾斜ステージから、完全に自動化された 150 mmストロークと 4 度の傾斜ステージまで、多様なサンプルステージを搭載しています。内蔵の防振システムと小型サイズは卓上設置に最適であり、スタンドとワークステーションのオプション追加により、理想的なプロダクション向けシステムに構成する事もできます。
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