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光学プロファイラーの基本 表面プロファイリング 表面プロファイリング


NewView™ 8000 シリーズ3D 光学面プロファイラー

NewView™ 8000 システム
主要機能:

高速非接触測定

優れた 3D 表面可視化

オングストローム未満の精度

最先端の精度およびゲージ能力

強化された光学的画像

2 つのモデルから選べます:
単一ズームまたはトリプルズーム

NewView™ 8000 シリーズ、3D 光学面プロファイラーは非接触光学面プロファイリングに強力な多用途性を提供します。すべての測定は破壊されず、高速で、サンプル調整を必要としません。高度なソフトウェアツールが表面の粗さ、ステップ高、CD 計測、およびその他のトポグラフィー特徴を、優れた精度で特性化および定量化します。

プロファイル高は多様です < 1 nm up to 20000 µm、高速では、表面テクスチャ、倍率または高さに関わりません。

ZYGO のコヒーレンス干渉法(CSI)向けの特許取得済技術を使用している NewView 8000 シリーズのプロファイラーは滑らかな表面、粗い表面、平面、傾斜およびステップなどの幅広い表面タイプを簡単に測定します。

性能、価値、および多用途性

NewView 8000 シリーズは 2 種類の構成で提供されています。単一ズーム NewView 8200 構成と、トリプルズーム搭載 NewView 8300 システムです。

使用するモデルに関わらず、すべての NewView 8000 システムは高精度の測定、使いやすさ、さらに多様な応用のすべてを魅力的な価格で提供しているので、多用途性と価値の点で 3D 光学プロファイラーの理想的な選択しです。

高度な分析および制御ソフトウェア

Mx ソフトウェア - Nexview プロファイラーの分析と制御
Mx Software 画面(画像をクリックして表示を拡大)

NewView 8000 シリーズ光学プロファイリングシステム

NewView 8000 シリーズ光学プロファイリングシステム
NewView 8000 プロファイラーは全く新しい Mx™ ソフトウェアを使用し、相互対話的な豊富な 3D マップ、定量的トポグラフィー情報、直観的な測定ナビゲーション、および内蔵 SPC(統計、チャート作成、および合格/不合格限度の制御)などの包括的なシステム制御およびデータ分析を行います。

• • 相互対話的 3D プロット – ズーム、パン、回転、さらに結果の更新をリアルタイムで行います。

• • 柔軟な分析 – 幅広い定量的結果、データビュー、およびフィルターが含まれています。

直観的なユーザーインターフェース およびワークフローベースの設計により、簡単に理解して使用できます。

内蔵の SPC 分析 ツールが結果を追跡し、合格-不合格基準をモニターし、行程統計を追跡します。

透明膜がある場合の測定、および 2D ビジョン分析などの特定のニーズ向けの追加アプリケーションモジュールは、必要があればご利用可能です。

柔軟な設定

NewView 8000 ステージおよび対物レンズ
オープンワークエリアには透明な照準線があります。

NewView 8000 プロファイラーのオープンワークエリアには、透明な照準線が引いてあるので、測定セットアップや切明が簡単に素早く行えます。システムは、完全に手動の X/Y および傾斜ステージから、完全に自動化された 150 mm の移動距離と傾斜 4 度のステージまで、多様なサンプルステージを搭載しています。分離系であり小型サイズなので、ベンチトップへの設置に最適で、オプションのスタンドとワークステーションを使用すると理想的なプロダクションスタイルシステムになります。

デモを見ましょう!
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