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光学プロファイラーの基本 表面プロファイリング 表面プロファイリング


Mx™ ソフトウェア ZYGO 3D 光学面プロファイラー向け装置制御およびデータ分析ソフトウェア

Mx ソフトウェア - Nexview プロファイラーの分析と制御
Mx Software 画面(画像をクリックして表示を拡大)
チャート、Nexview Mx 分析および制御ソフトウェアの制御
チャート制御(画像をクリックして表示を拡大)

ZYGO の Mx™ ソフトウェアは、相互対話的な 3D マップ、定量的トポグラフィーデータ、直観的なナビゲーション、および内蔵 SPC(統計、チャート作成、および合格/不合格限度の制御)などの包括的なシステム制御およびデータ分析を行います。

すべての新しい分析および制御ソフトウェア

Mx は装置制御およびデータ分析向けの ZYGO のソフトウェアプラットフォームです。最新世代の CPU で実行され簡単なワークフローベースのコンセプトを使っているので、ユーザーはセットアップから分析やレポート作成までの計測を簡単にナビゲートできます。

相互対話的で詳細なデータプロットが、全領域データを 2D または 3D で表示します。プロファイルスライス、原料比率、および PSD ビューも標準性能です。内蔵の SPC、合格/不合格インジケータ、データレポート作成および実行チャートで、製造品質分析が簡単にできます。

Mx の特徴:

• 安定した測定 – 新規技術により、粗い表面や角度のついた表面でも、パーツがあるところであればほとんどすべてのトポグラフィーデータを明らかにします。

• 相互対話的 3D プロット – ズーム、パン、回転、さらに測定結果の更新をリアルタイムで行います。

• 柔軟な分析 – 幅広い定量的結果、データビュー、およびフィルターが含まれています。

掘り下げた分析 - 高度に相互対話的な可視化分析が局所的なデータ検査および測定比較方法を提供します。

直観的なユーザーインターフェース とカスタマイズ可能な移動ツールストリップ、およびワークフローベースの設計により、簡単に理解して使用できます。

自動化操作

Nexview プロファイラー は手動制御のないフライ・バイ・ワイヤツールなので、プログラム済のシーケンスで完全に自動化が可能で、複数のパーツセグメント、レシピベースのイントレイパーツ測定、または大きな表面の幅広い領域ステッチを単一測定として測定することが可能です。ユーザーレベルのログインおよびレシピ構成は、確率された計測ルーチンでは達成できなかった信頼を提供します。

その他の応用

特殊な測定応用に対応するため、視覚分析や透過フィルム分析などのアプリケーション用のソフトウェアライセンスをオプションで取得する必要がある場合があります。Mx ソフトウェアモジュールにより ZYGO 表面プロファイラーを材料特性化、精密機械加工、人工装具、MEMS、半導体、消費者電気光学、および光学面製造などの幅広い特定応用に利用できます。

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