光学プロファイラー

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光学面プロファイラー ZeGage™ ZeGage™ Plus NewView™ 8000 NewView™ 9000  新製品 Nexview™ Nexview™ NX2  新製品 Nomad™ Compass™ APM650™ Mx™ ソフトウェア プロファイラーの対物レンズ

光学プロファイラーの基本 表面プロファイリング 表面プロファイリング


3D光学プロファイラー

ZYGOの3次元光学プロファイラーは、ISO準拠した非接触での表面測定/評価を可能にします。わずか2秒で最大200万ポイントのデータを取得し、マイクロ/ナノレベルの表面性状を正確かつ定量的に捉えます。最適な光学プロファイラーの選定は、速度、精度、垂直方向のレンジ、オートメーション、フレキシビリティ等のアプリケーションの要件に依存します。

ZYGOの3D光学プロファイラーは、高度な独自差別化技術の採用により、高速・高精度・高解像度・アプリケーション多機能性を備えた最高の性能を実現します。

ZYGOの3D光学プロファイラーは、簡単操作の卓上システムからより高度な完全自動化システムまで、様々な構成が可能です。R&D/規格化研究所から製造プロセス管理ワークステーション、更にはインラインOEM計測まで、幅広い業界のインストールベースを持ち、その性能と効果が実証されています。

ZYGOのプロファイラ―システムは機種を問わず、様々な表面構造や表面性状の最先端の光学測定パフォーマンスを提供し、エリア表面粗さISO 25178規格や2次元ISO 4287/4288規格準拠を含む数多くのパラメータを報告できます。

ZYGOの技術的なメリット

ZYGOの計測装置に採用されているコア技術、システムレベルの機能とオプション、ソフトウェア機能などをベースにしたいくつかの利点があります。簡単にするために、我々はCSI技術を最も一般的な代替光学技術(共焦点、焦点変化)の2つと比較した。下記の強調表示は、主要な属性と利点の一部です。

• 高速

• 優れたZ解像度(倍率に依存せず)

• 広倍率/広視野

• 粗面から超滑面までの測定

主な市場と用途

• 自動車、精密加工

• マイクロ製造、ナノテクノロジー

• コンシューマエレクトロニクス、ディスプレイ

• オプティクス&フォトニクス

• 航空宇宙、防衛

 

 ZeGage
ZeGage Optical Profiler
Standard
パフォーマンス
コンパクト設計
ロバスト性能
簡単操作のエントリー
レベル卓上システム
加工現場で
正しい測定!
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 NewView
NewView 9000 Optical Profiler
High
ハイパフォーマンス
高性能、高価値、
フレキシビリティー
多様なアプリケーション
に最適
ニーズにマッチした
カスタム構成!
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 Nexview
Nexview NX2 Optical Profiler
Ultra
パフォーマンス
スピード、高精度、
オートメーション
要求の厳しい
アプリケーション向けに設計
すべてを
高速測定!
Learn More

特殊モデル

標準構成に加えて、CSI技術を適用したアプリケーション特化モデルも準備しております。

Micro lenses and molds, spherical and aspherical
Compass™ – マイクロレンズとそのアライメント機能の完全な特性化が必要なアプリケーションには、ZYGO の Compass™ システムが最適です。球面または非球面のレンズやモールドの全面を非接触で、表面形状と偏差の3D マップ、トポグラフィー、相対/寸法計測を、サブナノメートルの高さ精度で提供します。データポイントは数百万点におよびます。

Nomad portable optical profiler
Nomad™ – ポータブル光学プロファイラーは、従来のワークステーション型プロファイラーの測定ステージには大きすぎるワークの表面を測定するための理想的なソリューションです。他の光学プロファイラと同様に、Nomadポータブルプロファイラーは倍率に依存しないサブナノメートルの測定精度を備えています。

Packaging Metrology System for Panel-Based PCB's
APM650™ – パッケージング計測システムはパネルベース プリント基板(PCB) およびその他の高度なパッケージングアプリケーションの自動測定を提供します。これは 2D および 3D 両方の測定を サブナノメートル の垂直方向精度、サブミクロンの水平方向精度で提供します。APM650 システムには大型 X/Y ステージが採用されてあり、最大 650 mm x 650 mm までのパネルサイズに対応します。

プロファイラー対物レンズ

ZYGO 光学プロファイラー向け対物レンズ
タレットに取付けられた、光学プロファイラーの対物レンズ
光学プロファイラーの性能や機能は使用する対物レンズ に大きく依存します。対物レンズがプロファイラーの倍率、ワーキング距離、許容傾斜、視野を決定するので、最適な対物レンズの選択は計測目標の達成に非常に重要です。 ZYGO が光学プロファイラー向けに提供する幅広い対物レンズは、業界に比類なく、増え続けています。全てのZYGO 対物レンズ社内 で設計・製造されているので、当社プロファイラーでの使用に最適化された最高品質の対物レンズです。これもZYGOならではの特徴です。

ZYGO は長ワーキング距離、広視野、薄膜 や透明性の表面の下にある表面の測定を可能とする特殊対物レンズ も提供しています。対物レンズ選択チャート (PDF) をダウンロードして対物レンズのフルラインナップをご覧ください。

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