3D 光学プロファイラー（光学表面形状測定装置）

ZYGOの3次元光学プロファイラーは、ISO準拠した非接触での表面測定／評価を可能にします。わずか2秒で最大200万ポイントのデータを取得し、マイクロ／ナノレベルの表面性状を正確かつ定量的に捉えます。最適な光学プロファイラーの選定は、速度、精度、垂直方向のレンジ、オートメーション、フレキシビリティ等のアプリケーションの要件に依存します。

ZYGOの3D光学プロファイラーは、高度な独自差別化技術の採用により、高速・高精度・高解像度・アプリケーション多機能性を備えた最高の性能を実現します。

ZYGOの3D光学プロファイラーは、簡単操作の卓上システムからより高度な完全自動化システムまで、様々な構成が可能です。R＆D／規格化研究所から製造プロセス管理ワークステーション、更にはインラインOEM計測まで、幅広い業界のインストールベースを持ち、その性能と効果が実証されています。

ZYGOのプロファイラ―システムは機種を問わず、様々な表面構造や表面性状の最先端の光学測定パフォーマンスを提供し、エリア表面粗さISO 25178規格や2次元ISO 4287/4288規格準拠を含む数多くのパラメータを報告できます。

ZYGOの技術的なメリット

ZYGOの計測装置に採用されているコア技術、システムレベルの機能とオプション、ソフトウェア機能などをベースにしたいくつかの利点があります。簡単にするために、我々はCSI技術を最も一般的な代替光学技術（共焦点、焦点変化）の2つと比較した。下記の強調表示は、主要な属性と利点の一部です。

• 高速

• 優れたZ解像度（倍率に依存せず）

• 広倍率/広視野

• 粗面から超滑面までの測定

主な市場と用途

• 自動車、精密加工

• マイクロ製造、ナノテクノロジー