表面粗さ・形状測定機
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3D 表面粗さ/形状測定機 ZeGage™ Pro 新製品 NewView™ 9000 Nexview™ NX2 Nomad™ Compass™ APM650™ Mx™ ソフトウェア 表面粗さ/形状測定機の対物レンズ

光学表面粗さ/形状測定機の基本 表面粗さ/表面形状測定 表面粗さ測定 表面形状測定


表面粗さ・形状測定機

ISOに準拠した非接触での表面粗さ・形状の測定

ZYGOの表面粗さ・形状測定機は、ISO準拠した非接触での表面粗さの測定、形状測定を可能にします。 わずか2秒で最大200万ポイントのデータを取得し、マイクロ／ナノレベルの表面性状を正確かつ定量的に捉えます。 最適な表面粗さ・形状測定機の選定は、速度、精度、垂直方向のレンジ、オートメーション、フレキシビリティ等のアプリケーションの要件に依存します。


 ZeGage™
表面粗さ・形状測定機:ZeGage Optical Profiler
Standard
パフォーマンス
コンパクト設計
ロバスト性能
簡単操作のエントリー
レベル卓上システム
加工現場で
正しい測定！
Learn More
 NewView™
表面粗さ・形状測定機:NewView 9000 Optical Profiler
High
ハイパフォーマンス
高性能、高価値、
フレキシビリティー
多様なアプリケーション
に最適
ニーズにマッチした
カスタム構成！
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 Nexview™
表面粗さ・形状測定機:Nexview NX2 Optical Profiler
Ultra
パフォーマンス
スピード、高精度、
オートメーション
要求の厳しい
アプリケーション向けに設計
すべてを
高速測定！
Learn More

高度な独自差別化技術

ZYGOの表面粗さ・形状測定機は、高度な独自差別化技術の採用により、高速・高精度・高解像度・アプリケーション多機能性を備えた最高の性能を実現します。

柔軟なシステム構成が可能

ZYGOの表面粗さ・形状測定機は、簡単操作の卓上システムからより高度な完全自動化システムまで、様々な構成が可能です。R＆D／規格化研究所から製造プロセス管理ワークステーション、更にはインラインOEM計測まで、幅広い業界のインストールベースを持ち、その性能と効果が実証されています。

様々な表面構造や表面形状の光学測定パフォーマンスを提供

ZYGOの表面粗さ・形状測定システムは機種を問わず、様々な表面構造や表面性状の最先端の光学測定パフォーマンスを提供し、エリア表面粗さISO 25178規格や2次元ISO 4287/4288規格準拠を含む数多くのパラメータを報告できます。

表面粗さ測定・形状測定におけるZYGOの技術的なメリット

Zygoの計測装置にはシステムレベルの機能とオプション、ソフトウェア機能などをベースにしたさまざまな利点があります。技術のシンプル化のため、私たちはCSI技術を最も一般的な代替となる光学技術（共焦点、焦点変化）の2つと比較しました。下記の内容は主要な属性と利点の一部です。

• 高速

• 優れたZ解像度（倍率に依存せず）

• 広倍率/広視野

• 粗面から超滑面までの測定


主な市場と用途

• 自動車、精密加工

• マイクロ製造、ナノテクノロジー

• コンシューマエレクトロニクス、ディスプレイ

• オプティクス＆フォトニクス

• 航空宇宙、防衛

 

特殊モデル

標準構成に加えて、CSI技術を適用したアプリケーション特化モデルも準備しております。

Compassシステム
Compass™ – マイクロレンズとそのアライメント機能の完全な特性化が必要なアプリケーションには、ZYGO の Compass™ システムが最適です。球面または非球面のレンズやモールドの全面を非接触で、表面形状と偏差の3D マップ、トポグラフィー、相対／寸法計測を、サブナノメートルの高さ精度で提供します。データポイントは数百万点におよびます。

Nomadポータブル表面粗さ・形状測定機
Nomad™ – ポータブル表面粗さ・形状測定機は、従来のワークステーション型の表面粗さ測定機・形状測定機の測定ステージには大きすぎるワークの表面を測定するための理想的なソリューションです。他の表面粗さ・形状測定機と同様に、Nomadポータブル表面粗さ・形状測定機は倍率に依存しないサブナノメートルの測定精度を備えています。

パッケージング計測システム
APM650™ – パッケージング計測システムはパネルベース プリント基板（PCB） およびその他の高度なパッケージングアプリケーションの自動測定を提供します。これは 2D および 3D 両方の測定を サブナノメートル の垂直方向精度、サブミクロンの水平方向精度で提供します。APM650 システムには大型 X/Y ステージが採用されてあり、最大 650 mm x 650 mm までのパネルサイズに対応します。 

表面粗さ測定機/形状測定機 対物レンズ

ZYGO 光学表面粗さ/形状測定機向け対物レンズ
タレットに取付けられた、光学表面粗さ/形状測定機の対物レンズ
光学表面粗さ/形状測定機の性能や機能は使用する対物レンズ に大きく依存します。対物レンズが表面粗さ/形状測定機の倍率、ワーキング距離、許容傾斜、視野を決定するので、最適な対物レンズの選択は計測目標の達成に非常に重要です。 ZYGO が光学表面粗さ/形状測定機向けに提供する幅広い対物レンズは、業界に比類なく、増え続けています。全てのZYGO 対物レンズ は 社内 で設計・製造されているので、当社表面粗さ/形状測定機での使用に最適化された最高品質の対物レンズです。これもZYGOならではの特徴です。

ZYGO は長ワーキング距離、広視野、薄膜 や透明性の表面の下にある表面の測定を可能とする特殊対物レンズ も提供しています。対物レンズ選択チャート (PDF) をダウンロードして対物レンズのフルラインナップをご覧ください。

質問フォーム
ZYGO の表面粗さ・形状測定システム、または表面粗さ・形状測定機全般についての質問は以下のフォームをご利用ください。

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