位置決め・測長システム

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位置決め・測長システム ステージ位置制御および絶対位置計測アプリケーション向けの超精密非接触ソリューション

ZMI ステージ位置計測システム
ステージ位置計測システム
ZMI™ 変位測定干渉計システムはターゲットまでの相対距離を精密に測定します。このシステムはヘテロダイン干渉計方針を用いる為、信号の振幅変化の影響を受けず、ロバストかつ極めて安定です。OEM アプリケーションには、光リソグラフィーステッパー/スキャナー、 電子ビーム描画機、レーザーマスク描画機、半導体検査装置などがあります。詳細を知る...

絶対位置測定センサー
ZPS™ システムは 1.2 mmレンジの位置計測を最大 64チャンネルまで同期して計測する高精度非接触絶対位置測定システムです。非常に小さい光学センサーは、変形ミラー、精密光学システム、ナノレベルの位置決めステージなどのハイエンドアプリケーションに簡単に搭載できます。本センサーの発熱はほぼゼロであり、電磁ノイズの影響を受けません。詳細を知る...

 

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