Nano-Position Sensors

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Pico-Scale Position Measurement
表面粗さ・形状測定機
レーザー干渉計
位置決め/測長システム
精密光学部品/システム

位置決め/測長システム

ZYGOの位置決め/測長システムは、主に露光装置や精密位置決めステージを使用した検査装置、変形可能な光学システム(デフォーマブルミラ ー)等のクローズドループでの位置コントロールシステムに広く使用されています。

ZYGOの変位センサー及び位置センサーは、25年以上にわたり革新的な開発を続けており、最?の精度と信頼性を必要とするアプリケーションと密接に連携しています。

ZYGOのプロフェッショナルなアプリケーションチームは、常にユーザー様のポジション計測に関するお手伝いをさせていただく準備ができています。

ZMI ステージ位置計測システム
位置変位測定干渉計
ZMI™ システムは、位置の相対的な変化を正確に測定するためにヘテロダイン干渉計技術を使用しています。
(超高精度・高安定性・高速追従)
絶対位置測定センサー
絶対位置センサー
ZPS™システムは超小型の非接触光学センサーを使用し、最?64チャンネルで正確に同期し、1.2 mmの範囲で絶対位置を測定します。(高安定性・10pm分解能)
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