大型アパーチャー干渉計

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レーザー干渉計 Verifire™ Verifire™ HD DynaFiz® Verifire™ HDX  新製品 干渉計アクセサリ

特殊アプリケーション Verifire™ MST Verifire™ XL 大型アパーチャーシステム UV および IR 干渉計 アップグレード


Verifire™ XL 大型アパーチャー下向き
干渉計ワークステーション

Verifire XL 干渉計システム 振動による干渉縞プリントスルーのある PSI 測定、および QPSI™技術を用いて測定された同じ表面との活発な比較 - ノイズの多いプリントスルーなし。
振動による干渉縞プリントスルーのある PSI 測定、および QPSI™技術を用いて測定された同じ表面との活発な比較 - ノイズの多いプリントスルーなし。
測定ステージ上の統合された透過要素、および軽量光学
統合された透過要素。
Verifire™ XL 干渉計システムはスタンドアローンのワークステーションで、最大直径 12 インチ (300 mm) までの、大型平面の簡単で信頼のおける測定用に設計されています。一例として、前面反射器、ウィンドウ、半導体ウェハーまたはウェハーチャックなどです。

この完全に統合されたシステムは使い方が簡単で、カスタム冶具不要で再現可能なパーツ配置ができる頑丈なチップ/傾斜ステージとともに設計されています。振動絶縁が内蔵されているため設置場所が小さく、製造現場に必要な面積は最小です。

振動制御

Verifire XL システムには ZYGO の特許取得済 QPSI™ 収集技術が搭載されていて、振動があっても信頼できる高精度な測定が可能です。QPSI は、一般的な製造振動から劣化することなく、単軸表面形状計測を可能にします。

正確な計測

Verifire XL システムの高性能透過平面は、重力たわみに対する感度が最小になるように設計されていて、最適なシステム精度を有効にする全領域キャリブレーションファイルを含んでいます。

Mx™ ソフトウェア

ZYGO 社独自の Mx™ 測定および分析ソフトウェアは、使いやすいインターフェースで比類ない測定性能向けの、幅広い動作特徴とデータ可視化ツールを提供します。Mx ソフトウェアには SmartAveraging® 技術が搭載されており、可能な限り最高の測定を最も短時間に取得でき、内蔵の SPC は生産状況向けの強力な性能を提供します。

主要機能:

• 12" (300 mm) アパーチャー

小型設置面積、自己充足型システム

簡単なパーツローディングと調整

簡単なセットアップと合理化された操作

内蔵の事前調整済透過平面

製造環境での信頼できる測定のための統合された振動絶縁および QPSI™ 技術

質問フォーム
ZYGO 社の Verifire XL 干渉計 システム、または干渉計全般についての質問は以下のフォームをご利用ください。

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