他表面テスト用 Verifire™ MST 干渉計システム

Verifire™ MST は伝統できな干渉計応用から始める必要があります。これらの応用はすべて、2 表面、さらに 2 表面空洞の間の波面変化を測定します。しかし、コーディングされていない平行平面の測定からは 2 層のインターフェログラム（3 表面空洞）が得られるので標準の位相シフト干渉計アルゴリズムと混乱します。

ZYGO は相の波長シフトを利用してこの問題を解決し、ZYGO はフーリエ変換位相シフト干渉計 (FTPSI) で特許を取得しました。Verifire™ MST は 2 表面、3 表面、さらに 4 表面の空洞さえも測定できます。すべての表面を表示するか、あるいは対象表面だけ表示するか、これらすべてが ZYGO の MS™ ソフトウェアで可能です。アーチファクトは FTPSI を使用して抑制できるので、延長ソースのニーズを削減します。

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