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レーザー干渉計 Verifire™ Verifire™ HD Verifire™ HDX DynaFiz® Mx™ ソフトウェア 干渉計アクセサリ

特殊アプリケーション Verifire™ MST 赤外線干渉計 Verifire™ XL 大口径干渉計 アップグレード

独自技術
QPSI™(耐振動測定アルゴリズム) DynaPhase®(瞬間測定機能)


他表面テスト用 Verifire™ MST 干渉計システム

Verifire MST 干渉計システム
Verifire™ MST レーザー干渉計は、多重反射する平行平面コンポーネントなどの多表面の同時精密光学計測を可能にします。

Verifire™ MST は伝統できな干渉計応用から始める必要があります。これらの応用はすべて、2 表面、さらに 2 表面空洞の間の波面変化を測定します。しかし、コーディングされていない平行平面の測定からは 2 層のインターフェログラム(3 表面空洞)が得られるので標準の位相シフト干渉計アルゴリズムと混乱します。

ZYGO は相の波長シフトを利用してこの問題を解決し、ZYGO はフーリエ変換位相シフト干渉計 (FTPSI) で特許を取得しました。Verifire™ MST は 2 表面、3 表面、さらに 4 表面の空洞さえも測定できます。すべての表面を表示するか、あるいは対象表面だけ表示するか、これらすべてが ZYGO の MS™ ソフトウェアで可能です。アーチファクトは FTPSI を使用して抑制できるので、延長ソースのニーズを削減します。

主要機能:

同時に 2 表面、3 表面、さらに 4 表面の空洞さえも測定できます。

表面マップ、光学厚さ変化、および背面概算を測定します。

以下をご用意しております:633 nm、1.053 µm および 1.55 µm 波長。

均一性の計測を大幅に簡素化します。

Verifire MST 多表面テスト測定マップ
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