Verifire™ HDX 精密中空間周波数の評価用超高解像度干渉計

Verifire™ HDX 干渉計システム

ZYGO 社の新しい Verifire HDX 干渉計は超性能光学コンポーネントおよびシステムの中空間周波数コンテンツの評価用に設計され構築されています。このシステムには人気のある Verifire HD の優れた機能がすべて含まれています – 例えば QPSI、および 製品寿命の長い安定したレーザー – さらに、 装置転送機能 (ITF) 向けには高い新しくクラス最高の画像および解像度、中空間周波数コンテンツおよび急傾斜の表面偏差、さらに ZYGO の DynaPhase® 動的獲得技術 ８（オプション）などの重要な強化を追加し、振動による問題を削減し、ほぼいかなる環境でも精密な計測が可能です。

最適な
解像度および性能向けに設計

光学面測定での中空間周波数コンテンツ

パワースペクトル密度 (PSD) および回析分析ツールが、 Verifire HDX システムの中空間周波数の特性化性能を丸めて、シンプルかつ直観的なユーザーインターフェースを通じて包括的な表面特性を詳細に分析しレポートします。

上位参照光学およびアクセサリ

超平面および超球面 λ/40 伝達要素

Mx™ ソフトウェア

Mx ソフトウェア、ゼルニケ分析結果

装置転送機能 - とは何か？なぜ重要なのか？

チャープアーチファクトの測定されたフェーズデータで半径方向の周波数が様々なステップ、定数 40 nm ステップ高さ、および（下）チャープアーチファクトのプロファイルで、空間周波数が増加すると測定されたステップ高さが減少することを示します。（画像をクリックして拡大）

ここで装置転送機能（ITF）が出てきます。干渉計システムは表面情報を、その設計（光学設計、カメラ、波長）によって減衰しますが、これが ITF を決定します。光学面の空間周波数コンテンツを測定する機能。高解像度 3.4k x 3.4k センサーおよび最適化された光学設計を備えたVerifire HDX システムは、市場に流通しているその他の干渉計システムよりも ITF が高いため、光学面の中空間周波数特性の信頼のおける測定には不可欠なツールです。これは光学設計者に、光学面をより高い精度に自信を持って指定し、さらにシステム性能ゴールを満たす ITF テスト要件を定義する能力を提供します。

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