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レーザー干渉計 Verifire™ Verifire™ HD Verifire™ HDX DynaFiz® Mx™ ソフトウェア 干渉計アクセサリ 特殊アプリケーション Verifire™ MST 赤外線干渉計 Verifire™ XL 大口径干渉計 アップグレード QPSI™(耐振動測定アルゴリズム) DynaPhase®(瞬間測定機能)
重要な機能:
今までにない精度で中空間周波数表面特徴を解決 QPSI™ および DynaPhase® 技術は製造環境および極端な環境での信頼できる測定を提供 他社では見られない 3 年間のレーザー保証付きの業界をリードする信頼性 |
Verifire™ HDX 精密中空間周波数の評価用超高解像度干渉計ZYGO 社の新しい Verifire HDX 干渉計は超性能光学コンポーネントおよびシステムの中空間周波数コンテンツの評価用に設計され構築されています。このシステムには人気のある Verifire HD の優れた機能がすべて含まれています – 例えば QPSI、および 製品寿命の長い安定したレーザー – さらに、 装置転送機能 (ITF) 向けには高い新しくクラス最高の画像および解像度、中空間周波数コンテンツおよび急傾斜の表面偏差、さらに ZYGO の DynaPhase® 動的獲得技術 8(オプション)などの重要な強化を追加し、振動による問題を削減し、ほぼいかなる環境でも精密な計測が可能です。 最適な
Verifire HDX システムはその 3.4k x 3.4k (11.6 メガピクセル) センサーのピクセル限界性能をサポートするために厳格に機械加工された全く新しい光学設計を備え、強化された画像かは低解像度の干渉計では識別が難しかった表面特徴を明らかにします。この超高空間分解能は速度を犠牲にしてはいまえん。このシステムは完全分解能ではフレーム率 96 Hz で動作します。これは、ノイズにより少ない測定しか得られない限られた性能の他の高分解能干渉計よりも最大 10X の速さです。
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