超高解像度干渉計

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レーザー干渉計 Verifire™ Verifire™ HD DynaFiz® Verifire™ HDX  新製品 干渉計アクセサリ

特殊アプリケーション Verifire™ MST Verifire™ XL 大型アパーチャーシステム UV および IR 干渉計 アップグレード

重要な機能:

今までにない精度で中空間周波数表面特徴を解決

• QPSI™ および DynaPhase® 技術は製造環境および極端な環境での信頼できる測定を提供

他社では見られない 3 年間のレーザー保証付きの業界をリードする信頼性


Verifire™ HDX 精密中空間周波数の評価用超高解像度干渉計

Verifire HDX 干渉計システム
Verifire™ HDX 干渉計システム

ZYGO 社の新しい Verifire HDX 干渉計は超性能光学コンポーネントおよびシステムの中空間周波数コンテンツの評価用に設計され構築されています。このシステムには人気のある Verifire HD の優れた機能がすべて含まれています – 例えば QPSI、および 製品寿命の長い安定したレーザー – さらに、 装置転送機能 (ITF) 向けには高い新しくクラス最高の画像および解像度、中空間周波数コンテンツおよび急傾斜の表面偏差、さらに ZYGO の DynaPhase® 動的獲得技術 8(オプション)などの重要な強化を追加し、振動による問題を削減し、ほぼいかなる環境でも精密な計測が可能です。

最適な
解像度および性能向けに設計

単一ポイントダイヤモンド回転光学面での中空間周波数傍受通信
光学面測定での中空間周波数コンテンツ
Verifire HDX システムはその 3.4k x 3.4k (11.6 メガピクセル) センサーのピクセル限界性能をサポートするために厳格に機械加工された全く新しい光学設計を備え、強化された画像かは低解像度の干渉計では識別が難しかった表面特徴を明らかにします。この超高空間分解能は速度を犠牲にしてはいまえん。このシステムは完全分解能ではフレーム率 96 Hz で動作します。これは、ノイズにより少ない測定しか得られない限られた性能の他の高分解能干渉計よりも最大 10X の速さです。

パワースペクトル密度 (PSD) および回析分析ツールが、 Verifire HDX システムの中空間周波数の特性化性能を丸めて、シンプルかつ直観的なユーザーインターフェースを通じて包括的な表面特性を詳細に分析しレポートします。

上位参照光学およびアクセサリ

超平面および超球面 λ/40 伝達要素
超平面および超球面 λ/40 伝達要素
システムの実行能力を完全に実現するためには、超平面™ 透過平面を Verifire HDX 干渉計と合わせて使用することを推奨します。超平面透過平面は λ/40 PVr 以上で認証されていて、中空間周波数コンテンツを最小化するために PSD の厳しい管理のもとで製造されています。これらの高精密基準光学は、垂直または水平方向で使用されるかどうかに関わらず精密レベルを満たすように設計されているので、テストセットアップに柔軟性を与えます。

Mx™ ソフトウェア

Mx ソフトウェア画面
Mx ソフトウェア、ゼルニケ分析結果
ZYGO 独自の Mx™ 分析ソフトウェアは幅広い動作機能と、ゼルニケ、勾配、PSD/MTF/PSF、プリズム角度、コーナーキューブ、などの包括的なデータ分析パッケージを提供します。この管理、データ取得、および分析を備えたソフトウェアパッケージには、製造プロセス、自動化実行、および重要な中空間周波数特徴のレポート機能が統合されたツールがあります。そのツールは、効果的な操作と簡単に習得できるシンプルで直観的なインターフェースを備えています。さらには、Python ベースのスクリプト記述や、柔軟性を高めるリモートアクセス、さらに複雑なテストセットアップとの統合も含まれています。

装置転送機能 - とは何か?なぜ重要なのか?

光学面は長年形状エラーと指定されてきましたが、光学システムへの需要が高まっているため、中空間周波数(MSF)特性の制御の重要性も高まっています。超性能用途向けに光分散を抑えて光学効率を改善するには、MSF 特性の厳しい管理が必要です。

超平面および超球面 λ/40 伝達要素
チャープアーチファクトの測定されたフェーズデータで半径方向の周波数が様々なステップ、定数 40 nm ステップ高さ、および(下)チャープアーチファクトのプロファイルで、空間周波数が増加すると測定されたステップ高さが減少することを示します。(画像をクリックして拡大)
形状エラーの修正に非常に高価的な小型ツール決定技術も、光学面への不要な中空間周波数コンテンツを与えます。周波数および表面特性の勾配に応じて、従来の干渉計システム - 表面形状の測定には好適な - は限られた解像度により、高周波数の表面特性を測定および定量化できません。解像度が不足しているということは、周波数詳細の減衰がおおくなり(右図参照)、測定結果に全く現れない場合があるということです。

ここで装置転送機能(ITF)が出てきます。干渉計システムは表面情報を、その設計(光学設計、カメラ、波長)によって減衰しますが、これが ITF を決定します。光学面の空間周波数コンテンツを測定する機能。高解像度 3.4k x 3.4k センサーおよび最適化された光学設計を備えたVerifire HDX システムは、市場に流通しているその他の干渉計システムよりも ITF が高いため、光学面の中空間周波数特性の信頼のおける測定には不可欠なツールです。これは光学設計者に、光学面をより高い精度に自信を持って指定し、さらにシステム性能ゴールを満たす ITF テスト要件を定義する能力を提供します。

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