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レーザー干渉計 Verifire™ Verifire™ HD DynaFiz® Verifire™ HDX  新製品 干渉計アクセサリ

特殊アプリケーション Verifire™ MST Verifire™ XL 大型アパーチャーシステム UV および IR 干渉計 アップグレード


大型アパーチャーシステム

24-インチ大型アパーチャー干渉計システム
24-インチ大型アパーチャーシステム(クリックして拡大)

32-インチ大型アパーチャー干渉計システム
32-インチ大型アパーチャーシステム(クリックして拡大)
ZYGO の水平軸大型アパーチャーシステムは、2 つの独立した計測キャビティを維持する一意の機能を提供します。一方は定格干渉計 アパーチャー (4") で、他方は 4 つのビーム拡大器直径 (12"、18"、24" および 32") を選択します。適切なアクセサリと構成すると、大型アパーチャーシステムは表面形状および透過波面品質両方の測定に使用できます。

大型アパーチャーシステムの構成要素

• 干渉計メインフレーム (Verifire™ または Dynafiz®

• MUX キューブ(切り替え可能なミラーアセンブリ)

• ビーム拡大器(直径 12"、18"、24" または 32」 が利用可能)

• フェーズ測定レセプタクル(12" および 18」 システム;24" および 32" は波長シフトメインフレームを使用するので PMR は不要です)

• 基準光学 - 光学構成に応じて必要となる透過平面および基準平面

• 架台 - 基準光学およびテスト光学用の架台をご用意しております

大型アパーチャーシステムコンポーネントは干渉計メインフレームとは別売りです。御社の計測ニーズにあわせてシステムを構成するさいにお手伝いが必要であれば最寄りの ZYGO 販売店 にご連絡ください。

Verifire XL

Verifire XL 干渉計システム
Verifire™ XL 干渉計システムはスタンドアローンの大型アパーチャーワークステーションで、最大で直径 12 インチ (300 mm) までの平面表面の測定用です。一例として、前面反射器、ウィンドウ、半導体ウェハーまたはウェハーチャックなどです。

システムは下向き構成なので、ほとんどの場合に特殊なパーツ保持冶具を必要としません。オペレーターは単にテスト部品をチップ/傾斜ステージに置き、測定アパーチャーの下でステージ全体をスライドします。

設置面積の少ない Verifire XL システムは御社の製造現場の価値ある床面積をわずかしか必要としません。必要なものは、振動絶縁システムを含めて、すべて内蔵されています。透過平面も内蔵され事前調整済なので、調整不要であり、操作を簡素化し、スループットを増加します。

さらに、ZYGO 専用の QPSI™ 取得技術も含まれています。これは、縞「プリントスルー」を削減し、製造環境にしばしば発生する振動の信頼のおける高精度の測定を可能にします。

質問フォーム
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