動的干渉計

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動的レーザー干渉計

DynaFiz 動的レーザー干渉計
DynaFiz - 動的レーザー干渉計

極端な気流および振動がある環境下での干渉計 は非動的、位相シフト干渉計 (PSI) に深刻な課題をもたらします。このような環境での応用は、真空チャンバーまたは熱チャンバー内のセットアップ、個別計測フレームのセットアップ、さらに長い光学パスでの大きな光学などを含む技術パーツの限界を押し上げることがあります。一方、悪気流および極端な振動での動的獲得により、このような環境下でも精密な測定が可能になるので、製造現場での計測を可能にします。

ZYGO 社の DynaFiz® 動的干渉計 は完全に新しい設計で、動的効率および性能を最大化します。DynaFiz 動的干渉計 には、通常の干渉計を動的測定システムに変えようとするパッチソフトウェアアドオンはありません。

DynaFiz 動的干渉計 は単一フレームデータをキャプチャ氏、効果的に空洞内のモーションを凍結します。高品質データは、速度および方位分解能を増しつつ、最も極端な環境でも可能になりました。

動的干渉計測定

DynaFiz 動的干渉計 は以下のような複数の条件下での測定を可能にしました。

• 環境チャンバー

• 適応光学

• ステアリングミラー

• 気流解析

• 地球天体望遠鏡

• イオンビーム解明

• メータークラス光学およびシステム

• ISR システム

• 平面、球面、および非球面の形状分析

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