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超球面™ 透過球面

超球面™ 透過球面
ZYGO の超球面™ 透過球面は ZYGO 干渉計を使用した場合に RMS* の不確実性が ≤ 3.2 nm (λ/200、633 nm) である表面形状の計測が可能になるように設計されていて、反射性 ≤ 40% のテスト光学の計測に最適です。

これには 4 インチ (101.6 mm) 直径の透過球面で、f/番号が f/0.75、f/1.5 および f/3.3、さらに λ/40 PVr (λ = 633 nm) 表面形状が搭載されています。これ以外にも 4 および 6 インチの超球面透過球面がご利用可能です。

それぞれの超球面透過球面には基準表面の絶対キャリブレーションが含まれていて、結果として得られた MetroPro *.dat ファイルおよびゼルニケ 37 多項式フィッティングが USB メモリスティックで同梱されます。

詳細は仕様書をダウンロードしてください。

* スムース球面表面の形状計測、null 状態のキャビティ、システムノイズを最小にするためのデータ平均化、適度に安定した環境、ISOの 「Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement」 (1995) with k=1 に従った不確実性予測を想定。

PVr はゼルニケ36多項式フィッティング、さらにゼルニケフィッティングの rms 残基の 3 倍を加えたものと定義されます。


仕様書 マニュアル
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