干渉計アクセサリ架台

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レーザー干渉計 Verifire™ Verifire™ HD DynaFiz® Verifire™ HDX  新製品 干渉計アクセサリ

特殊アプリケーション Verifire™ MST Verifire™ XL 大型アパーチャーシステム UV および IR 干渉計 アップグレード

干渉計アクセサリ 透過平面 透過球面 アクセサリ搭載 曲率半径


干渉計アクセサリ架台

架台は Verifire™ および DynaFiz® 干渉計 システムのオプションとして購入可能であり、先端および傾斜 ±2° つの調整ができます。これらは様々なアクセサリやテストセットアップと統合するように設計されています。各セットアップのセンターラインの高さまたは光学軸は 4 インチおよび 6 インチ架台の間で等しく一貫しているので、シムを打ったり調整する必要はありません。
アクセサリレセプタクル

アクセサリレセプタクル、チップ/傾斜

アクセサリレセプタクルには干渉計の出力ビームに取付られている透過要素用の 2 軸課題があります。

アクセサリレセプタクルは干渉計メインフレームの前面、またはフェーズ測定レセプタクル(PMR)に取付られます。

架台は 4 インチまたは 6 インチ直径いずれかの光学要素にフィットするように 2 つのサイズがあります。ビームセンターラインの高さは 4 インチおよび 6 インチ両方で4.25 インチ(108 ミリメートル)です。

調整架台

調整架台

調整架台は透過波面品質の測定時にテストパーツまたは基準要素を保持し、チップおよび傾斜調整 ±2°を行います。

架台には自動センタリング要素ホルダー、汎用要素ホルダー、さらにその他の架台アクセサリが取付られます。架台は 4 インチまたは 6 インチ直径いずれかの光学要素にフィットするように 2 つのサイズがあります。ビームセンターラインの高さは4 インチおよび 6 インチ両方で 4.25 インチ(108 ミリメートル)です。

5 軸架台

5 軸架台

5 軸架台では 13 mm の X 軸および Y 軸調整が可能で、Z 軸では最大 50 mm の調整が可能です。さらにチップおよび傾斜調整 ±2° を行います。

架台には自動センタリング要素ホルダー、汎用要素ホルダー、さらにその他の架台アクセサリが取付られます。架台は 4 インチまたは 6 インチ直径いずれかの光学要素にフィットするように 2 つのサイズがあります。

ビームセンターラインの高さは4 インチおよび 6 インチ両方で 4.25 インチ(108 ミリメートル)です。

X-Y ステージ

X-Y ステージ

X-Y ステージは 6 インチの調整可能架台またはアクセサリレセプタクルに取り付けられ、最大 13 mm の X および Y 軸調整が可能です。 

架台には自動センタリング要素ホルダー、汎用要素ホルダー、さらにその他の架台アクセサリが取付られます。

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