レーザー干渉計

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表面粗さ・形状測定機
レーザー干渉計
位置決め/測長システム
精密光学部品/システム

レーザー干渉計

47年前、ZYGOは世界で初めて汎用型レーザー干渉計を製品化しました。今日までZYGOはレーザー干渉を用いた表面形状測定におけるトップメーカーの役割を維持し続けています。何千ものZYGO干渉計が世界中に設置され、日々生産されている光学部品や光学ユニットの正確な測定を提供し続けております。
Verifire Laser Interferometer
Verifire™
3年間のレーザー保証を備え、信頼性とコストパフォーマンスに優れたスタンダードなフィゾー干渉計
Verifire HD Laser Interferometer
Verifire™ HD
高解像度フィゾー干渉計
高解像度のイメージングにより中間空間周波数成分の解析を可能にします
Verifire HDX Laser Interferometer
Verifire™ HDX
超高解像度フィゾー干渉計
中間空間周波数特性の解析用の光学設計で構築されたシステム
Dynafiz Laser Interferometer
Dynafiz®
最高レベルのパフォーマンス
極度の振動や空気揺らぎがある環境下でも信頼できる測定を可能にします
特殊機能製品
Verifire MST
Verifire™ MST
The Verifire™ MST は波長シフトレーザーと特許技術のデータ取得技術を利用して、透明光学部品の表裏面の同時データ取得を可能にしました。前処理やコーティングなしで、厚みバラつきや屈折率分布を、2つのステップで簡易的に測定できます。
赤外線干渉計
赤外レーザー干渉計
光学システムの設計波長でのテストは、最終的なアライメントと品質のために重要です。ZYGOはNIR(近赤外)からSWIR(短波赤外)、MWIR(中波赤外)、LWIR(遠赤外)まで、光学系や材料を使用波長でテストするための干渉計を提供可能です。
Verifire XL
Verifire™ XL
The Verifire™ XL 干渉計システムは直径300mm(12インチ)までの大型平面部品の表面形状をデータのつなぎ合わせなしで、簡単に測定できるシステムです。 繰返し測定を行う部品を簡易的に測定できる設計になっています。
大型アパーチャー干渉計システム
大口径干渉計
大口径フィゾー干渉計は12”, 18”, 24”,32”(300mm~800mm)の口径であらゆるアプリケーションに対応したシステムです。ZYGOの高出力レーザーを利用して、4”口径と大口径の両方のビーム径に切り替えができる構成になっています。
 
12-inch Reference Flat
干渉計用アクセサリ
ZYGOは干渉計システムの機能を拡張、強化するためのさまざまなアクセサリを提供します。透過型および反射型平面原器、球面原器、アクセサリマウント、ホルダー。曲率半径オプションは特別な改造を必要とせずに曲率半径測定が行えるように、装置に取り付け可能なレールを提供します。
Mx Software
Mx™ ソフトウェア
ZYGO独自のMx?ソフトウェアはツェルニケ、スロープ、PSD/MTF/PSF、プリズム角度、コーナーキューブなど、幅広い解析機能を有しています。本ソフトウェアはシンプルで直感的な操作がしやすいインターフェイスになっています。
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