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3D 表面粗さ/形状測定機による表面仕上げの測定
表面の粗さ対表面仕上げ
表面の粗さ 測定は非常に頻?に生じる表面の不規則性の定量的評価で、しばしば 表面仕上げの測定という用語と同じ意味で用いられます。しかし、文脈には違いがあります：表面の粗さは所定の表面における自然、人工に関わらず、表面変化（非常に小さなスケールで）の量についての一般的な用語ですが、「表面仕上げ」は、目的を持って意図的に修正または加工された表面を示唆する用語です。表面の粗さと仕上とは何ですか？
表面が波状の表面にある突起やくぼみを考えてみてください（個の場合、「高さ」は振幅で、「幅」は周波数です）。表面の粗さは表面の振幅が平均からどの程度乖離しているか、さらにこのような乖離が発生する傾向にある周波数の測定を理解するために幅広く使用されています。表面の粗さを測定するための、粗さの周波数を平均するために十分に大きい面積での表面のサンプリングを数回行う必要があります。サンプリングサイズは、測定される表面不規則性の周波数の少なくとも 7 倍、およそ 10 倍の長さである必要があります。
表面の粗さ、より大義では表面仕上げは平均として測定されます。これは、最小サンプル長さを複数回測定し、端から端まで、あるいは測定が領域（「地域の」）である場合は並べて集約されます。複数の非連続局所からも平均を集約することができます。
表面仕上げ仕様の精度に応じて、表面仕上げは異なる精度のツールで評価できます。ZYGO の光学表面粗さ/形状測定機には、高い精度の高さ測定を任意の倍率で提供できる利点があります。ZYGO 表面粗さ/形状測定機は表面粗さ をナノメートルやミクロインチ仕様（人の目または蝕知センサーによる検出よりも、かなり低い。）よりも好適に測定します。
粗さの方向性は向き
多くの製造物の表面、およびいくつかの自然物の表面は、方向性のある表面特性を備えています。方向性、または「向き」は、線形またはスタイラス技術を使用して粗さ測定を得る場合は重要な要因ですが、三次元表面粗さ/形状測定機の要因ではありません。例えば、回転した円筒形パーツには切断ツールによる溝が円周方向にある、その溝は機械加工された円筒形の一端から他方の端までらせん状になっています。ｌこのような円筒形を測定する場合、粗さを溝に向かって垂直方向に測定します。つまり、溝に従わないようにしてそこからの影響を避けます。このようにすれば、溝の周波数は正確に判断できます。回転する溝を斜めに測定すると、周波数が伸長したプロファイルが得られます。
向きは ZYGO 光学表面粗さ/形状測定機での 領域の粗さの測定 では考慮事項ではありません。3D により全方向を同時に測定するからです。これを示すために、領域の粗さは表面パラメータを使用して表されます。表面の粗さの表現は Saで、これは Birmingham および ISO 規格に従っています。一方、線形測定は Raです。
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