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ステップ高 表面プロファイリングアプリケーション

多くの精密機械加工プロセスには高いレベルの再現性と精度でのステップ高測定が必要です。ZYGO の NewView™ 光学プロファイラーは最高 20000 µm までのステップ高をナノメートル未満の分解能で測定できます。

モデルに応じて、ZYGO の NewView™ 表面プロファイラー は様々なステップ高を測定できます。2 つの非連続平面間の高さの差異は、最高 20 mm までであれば、ZYGO 社のコヒーレンス干渉(CSI)技術が最も効果的に処理できます。この技術を使用して表面角度を測定することも可能です。

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