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光学的均質性テスト方法

光学的均質性測定
光学コンポーネントの重要なプロパティは、それが作成されている材料の屈折率の均質性です。材料の屈折率の変動はそれを透過する波面に影響します。ZYGO は光学的均質性の正確な測定向けの 3 つの異なる方法を提供しています。

オイルオンプレート - 光学的均質性を測定するこの従来の方法は滑らかな表面の 2 枚のガラスプレートと、テストサンプルと屈折率が等しい液浸油を使用します。測定は 2 度行われ、1 つは単に 2 枚のガラスプレートを測定し、もう 1 つはそれらの間にサンプルを挟み、オイルに浸漬したものを測定します。最初の測定値を第二の測定値から引いて、サンプルの均質性を計算します。煩わしく時間がかかる一方で、この方法のメリットはサンプルの表面が滑らかである必要がない点です。詳細および価格情報は
ZYGO に問い合わせてください。

Phom 応用 - この MetroPro® 応用は Verifire™ シリーズ の干渉計と共に使用できます。オイルオンプレート技術と同様に、PHom 応用も 2 回の測定が必要です(テストサンプルあるなし)が、液浸油が不要だというメリットがあり、時間と費用が節約できます。さらに、有害かもしれない材料への暴露を避けることができます。しかし、テストサンプルには、その表面を基準表面と区別するためにウェッジが必要です。

Verifire™ MST - 光学的均質性測定のための革新的な新しいアプローチを提供します。PHom アプリケーションと同様に、液浸油は不要です。しかし、PHom 技術とは異なり、テストサンプルにはウェッジは不要です。高度なソフトウェアアルゴリズムがキャビティ内の 4 つの面全てを正確に区別し、サンプルの前面および後面、物理的厚さおよび光学的厚さのばらつき、非線形均質性、さらに初回は、線形均質性の測定を同時に提供します。

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