動的計測表面プロファイリングアプリケーション

主要機能：
高速、非接触表面トポグラフィー
測定
完全な 3D 固定および動的計測
性能
ナノメートル未満の Z 解像度
多様な視野および倍率
大型垂直スキャン範囲
包括的なデータ区分および
分析
溶融または反射性
表面に対応

MEMS 用精密、非接触表面プロファイリング計測

MEMS 研究および製造の困難かつ多様なニーズを満たすために、ZYGO コーポレーションは精密な表面測定およびマイクロデバイスの特性評価用の 3D 光学プロファイラーである NewView™ シリーズを開発しました。最先端で特許取得済の技術を活用した NewView™ は、単一プラットフォーム上でナノメートル未満の解像度で柔軟かつ包括的な MEMS 計測のための滑らかな表面や粗い表面、大型ステップ、および厚膜の非接触表面プロファイリングを可能にします。

ここをクリックして ZYGO 社の NewView™ 表面プロファイラーについて知る。

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